mW-IC薄型压电超声马达及其控制技术

分析了薄型电机定子面内弯曲模态。探讨了面内驻波和面内行波超声电机的工作机理。对面内驻波电机，从电机结构岂有此理局与设计、压电陶瓷分区与极化、等效电路的理论与方法、驱动与控制技术及有关的实验技术等方面进行了探索，构成了一整套完整的理论与方法，并进行了大量实验研究。实验结果表明：此理论与方法可行。对圆环面内行波电机，分别从电机频率的选择、定子表面质点椭圆运动轨迹的优化、压电陶瓷片的极化布局、定子和转子接触界面模型、平面内弯内曲模态机电耦合系数的因影响因素等方面进行了全面的分析。综合利用分析力学、压电学、机械振动、弹性力学等方面的理论建立了电机的数学模型。完成了电机的等效电路模型。研制了以上两类薄型超声电机样机各一台，并研制了相应用mW—IC驱动和控制电路。