小型、精密直线超声电机及其驱动与控制技术

瞄准２１世纪我国国民经济的需求，研究一种小型精密直线超声电机。该超声电机加上现代的驱动与控制技术，能实现μｍ级甚至ｎｍ级位置分辨率的直线运动。该电机定子采用长方形压电陶瓷片，通过二相超声电压激励，在其平面内产生纵向和弯曲振动，以形成推动动子所需的椭圆运动。该电机可应用于信息产业、微型机械、精密仪器仪表及精密制造等领域。