面向SOC的硅基微型燃料电池及其关键技术的研究

本项目面向SOC，将基础研究与器件制作相结合，在进行电极扩散层和质子交换膜研究基础上，结合MEMS技术和薄膜淀积技术，在硅片上研制出高效、环保的质子交换膜微燃料电池，实现MEMS技术与电化学技术的交叉与结合。一方面是MEMS研究领域的拓展；一方面实现燃料电池的微型化和集成化。对燃料电池和MEMS系统的研究均有重大意义。