保形性等离子体基离子注入数值模拟及实验研究
基本信息
批准号：50301005
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：8.00
负责人：孙琦
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：顾昌鑫,单莉英,丁可,邓斌,孙毅,凌立
关键词：
保形性注入材料表面改性等离子体基离子注入数值模拟
结项摘要
等离子体基离子注入(PBII-Plasma based ion implantation)技术是极具潜力的新型材料表面改性技术。本项目研究不同几何形状工件等离子体基离子注入的鞘层扩展动力学行为，多种类、能量连续分布的注入元素在改性层中的分布，保形性注入的基本规律及影响因素，探索获得复杂形状工件均匀注入层的途径，研制相应的数值模型系统，从理论上和实践上解决几种典型几何形状的注入层均匀性问题，为设计和
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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