利用水银的硅微加速度传感器研究

研究用一滴水银作为对加速度敏感的液体弹性电极，与固定电极构成电容式加速度计，固定电极与探测电路采用硅微工艺进行加工。其意义在于解决现有的各种基于固体弹性敏感结构的加速度计存在灵敏度与抗冲击之间的矛盾，制造具有高灵敏度（分辨力10（4）gn）不怕冲击损坏的硅微加速度计，并简化对硅微工艺的要求。该系统易实现三维测量，应用前景广阔。