高量程冲击微加速度传感器研究

高量程冲击微加速度传感器在航空、电子、汽车、机械等领域有重要应用。目前，国内尚无满足使用要求的产品。本课题提出采用悬臂梁侧面扩散形成压敏电阻和曲面贴合过载何护的设计方案，大大提高了传感器灵敏度和抗冲击过载保护能力。课题的开展将突破高量程冲击加速度传感器在设计、制造、检测、封装和应用等方面的长键基础技术。