宽频带高量程冲击微加速度传感器研究

高量程(1万g－10万g)微机械加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。目前，国内尚无满足使用要求的产品。本课题采用硅硅键合技术，使敏感结构增加一主梁，从而增加结构中心面与敏感电阻的距离，在基本不降低灵敏度的同时，大大提高敏感结构的固有频率，在更宽的频带内真实反映冲击过程的加速度波形,而且通过改变主梁的长度或厚度可以很容易地调节结构的固有频率。课题的开展将突破宽频带高量程冲击加速度传感器在设计、制造、检测、封装和应用等方面的关键基础技术。