MOCVD法生长高阻ZnO薄膜及其紫外光探测器的研制
基本信息
批准号：60176026
项目类别：面上项目
资助金额：24.00
负责人：杜国同
学科分类：
依托单位：吉林大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王新强,许呈栋,阎伟,柳丹,李明涛,崔宏峰,刘大力
关键词：
紫外光探测器等离子增强MOCVD氧化锌
结项摘要
氧化锌紫外光探测器在信息转换、环境监测、航天、天文、生命科学和军事领域均哂芯薮?的应用前景。尤其在军事领域，它可利用太阳光线的真空地带，追踪导弹和火箭，并可用于核武器系统，具有极高的军事价值。我们利用等离子增强MOCVD法生长的高质量ZnO薄膜，研制高量子效率、高响应速度、高灵敏度的MSM型紫外光探测器。.............
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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