ZnO基透明薄膜晶体管的研制

提出了全MOCVD（金属有机物化学气相外延）法制造ZnO基（及其多元氧化物）透明薄膜晶体管（Transparent Thin Film Transistors, TTFT），研究其材料生长、器件结构及制造工艺。全MOCVD制造ZnO-TTFT工艺简单、均匀性好、器件制造过程沾污小、器件可靠。采用ZnO-TTFT可提高LCD、OLED显示屏开口率，提高显示品质，并且ZnO-TTFT对可见光无反应，不需要遮光层，简化工艺；ZnO-TTFT结合ZnO透明电极技术还可以制造透明集成电路，将在伪三维立体显示屏、汽车智能显示、航空头盔显示等平面显示、光学信息处理、宇航、军事领域有广泛应用前景。