稳定高效的ZnOp型掺杂与生长设备、可控技术及测试方法研究
基本信息
批准号：50532080
项目类别：重点项目
资助金额：110.00
负责人：杜国同
学科分类：
依托单位：吉林大学
批准年份：2005
结题年份：2009
起止时间：2006-01-01 - 2009-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：胡礼中,张宝林,马艳,边继明,梁红伟,张源涛,杨天鹏,刘维峰,付艳萍
关键词：
p型pn结测试方法ZnO专用设备ZnO薄膜
结项摘要
研究ZnO薄膜p型掺杂及其可控技术，解决p型掺杂的稳定性和可控性问题；优化改进自行设计加工的ZnO薄膜生长专用等离子体增强MOCVD系统，完善掺杂所需的各种系统功能；提高p型ZnO载流子的掺杂浓度和迁移率，研制出性能良好的ZnO p-n结，制备出ZnO同质p-n结发光管原型器件，实现性能良好的p-n结电注入发光；研究p型ZnO材料掺杂浓度的测试方法及条件，获得准确可靠地测定p型ZnO薄膜电学参数的
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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