用大气压等离子体CVD快速制备低温晶化Si薄膜

用非平衡的低温等离子体技术制备薄膜半导体材料需要实现高速化。本项目提出采用非平衡的大气压超高频等离子体CVD技术快速制备用于太阳电池的低温晶化Si薄膜。主要研究内容包括：1）持续稳定的大气压超高频等离子体的生成、诊断及其控制；2）围绕提高薄膜生长速率的目标，实时监控等离子体，对其中的活性粒子生成机理和反应机制进行深入探讨；3）确立最佳反应条件，快速制备出具有优异光电特性的低温晶化Si薄膜；4）低温晶化Si薄膜的电学、光学特性表征及其在太阳电池中的应用探讨。.大气压等离子技术正以其独特的性质和低廉的成本而受到广泛关注。系统研究用非平衡的大气压超高频等离子体CVD技术快速制备低温晶化Si薄膜将会对相关领域的研究产生积极影响。