驱动和检测具有滑膜阻尼的新型音叉式微陀螺研究

微机械陀螺可广泛应用在航空、航天、武器、汽车等领域，已成为惯性陀螺发展的一个重要方向。目前国内尚无满足使用要求的产品。本项目提出了一种基于滑膜阻尼的，可在大气下工作的新型音叉式微机械陀螺，利用电容交叠面积的变化来实现驱动和检测。对于本项目提出的陀螺，旁轴加速度干扰信号为共模信号，而检测科氏加速度信号为差模信号，所以从结构上既可以实现对旁轴加速度干扰信号的抑制，同时又可以使检测灵敏度提高一倍；并且驱动和检测方向均具有滑膜阻尼，远小于压膜阻尼，在大气下工作Q值分别可以达到1000，大幅度提高了检测灵敏度，从而可以避免真空封装,大大降低封装难度及制作成本。课题的开展将突破微机械陀螺在设计、制造、检测、封装和应用等方面的关键基础技术，为微机械陀螺在近距离导航、短程制导等中、低精度领域的应用打下深厚的技术基础。