高量程微加速度计中关键力学检测技术的研究

高量程(10000g-200000g)微加速度计所用材料和结构的力学性能、灵敏度校准和失效等关键力学问题的检测关系到器件的实际使用。本研究项目以纳米硬度计、自行研制的超微力实验仪和全场微位移光学测量系统为检测手段，研究微加速度计芯片的力学性能和敏感弹性元件- - 微梁的静态弯曲行为。研究多种校准方法，发展适合于不同量程微加速度计的校准技术。研究微加速度计的冲击和静态失效检测技术，建立可靠性分析模型。这些关键力学问题的检测可为微加速度计和其他MEMS器件的结构设计和工艺选择提供优化依据，同时也为微尺度力学的研究提供实验基础技术。