大口径衍射光学元件集成新技术研究
基本信息
批准号：10376019
项目类别：联合基金项目
资助金额：28.00
负责人：郭永康
学科分类：
依托单位：四川大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：高福华,蔡海涛,张晓春,高峰,张怡霄,刘世杰,刘建莉
关键词：
光刻ICF驱动器灰阶编码衍射光学掩模
结项摘要
在强激光系统中采用集成衍射光学元件，对于减少能量损失，优化系统整体结构，改善系统性能，避免非线性自聚焦和激光感应损伤造成的损坏有重要意义。本项目基于光信息处理理论，提出用多自由度将三维浮雕结构编码成二维半色调图形的高精度编码方法；研究用半色调灰阶编码掩模一次曝光生成任意面形连续三位浮雕结构的新技术；发展一种将衍射光学元件集成的新设计原理和光刻技术。本项研究在理论上是对波前工程学中的掩模优化理论的发
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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