多层衍射光学元件斜入射衍射效率特性的研究

多层衍射光学技术是衍射光学领域的最新进展和光学工程领域的前沿课题。多层衍射光学元件的特殊成像性质和在很宽波段内接近100%的衍射效率有重要的应用价值。但目前已知的多层衍射光学元件的高衍射效率是基于光正入射在多层衍射光学元件上的计算结果，没有反映更具普遍性的斜入射情况下的衍射效率。由于多层衍射光学元件表面微结构的复杂性，不考虑斜入射情况的多层衍射光学元件的设计和应用存在技术缺陷和隐患。本课题拟先从理论上研究斜入射状态下多层衍射光学元件衍射效率与入射角的关系并建立描述这种关系的数学模型；再研制一台用于实际测量的含有多层衍射光学元件的实验样机；然后对这台样机进行斜入射状态下多层衍射光学元件衍射效率与入射角关系的实际测量，将实际测量结果和理论计算结果相互印证。开展本项目的研究，将进一步完善多层衍射光学技术的理论，并对多层衍射光学技术的应用、对于准确设计和评价含有多层衍射光学元件的系统具有重要意义。