绝缘材料等离子体浸没离子注入表面优化

等离子体浸没注入利用工件施加负偏压对离子吸引从而形成离子注入效应，所以对导电材料处理是有效的。但对于绝缘材料，由于非导电性和表面充电效应，等离子注入难度可想而知。但我们初步研究表明：利用电容效应，绝缘材料等离子体注入是可行的。在该领域研究中本课题首次采用二维数值模拟，并提出栅网诱导新概念来解决厚大绝缘材料处理问题。