长细管筒(如枪炮身管)内表面离子注入处理是表面改性领域一个较为棘手的问题。上世纪80年代提出的等离子体离子注入概念为内表面注入提供了一种新思路:管筒内部扩散进入或内部产生等离子体,管筒施加负偏压、吸引离子获得注入效应。然而经历了"空筒、中心地电极、内源+中心地电极"等几个发展阶段后,由于硬件原理限制,结果仍很难处理较细的管筒。本项目提出了一种新的技术概念:基于内源和中心正电极结构的内表面离子注入。管筒不再接负,而是接地,通过中心电极接正排斥离子获得内壁注入效应。为了获得内源,管筒内部中心电极不仅连接高压,同时也要耦合射频功率产生等离子体,这虽然增加了硬件难度,但可以有效减小可处理管筒的内径,可处理内径有望达到1cm以下。针对这样的物理概念,本项目的研究内容包括:射频/高压的电学隔离与耦合、细小管筒条件下射频放电的规律、正向脉冲条件下稳定工作的条件、等离子体鞘层的形成及其扩展动力学等等。
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
青藏高原狮泉河-拉果错-永珠-嘉黎蛇绿混杂岩带时空结构与构造演化
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
一种改进的多目标正余弦优化算法
多源数据驱动CNN-GRU模型的公交客流量分类预测
家畜圈舍粪尿表层酸化对氨气排放的影响
基于独立微等离子体内源的细长管内壁离子注入新技术及其机理研究
微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
射频及脉冲偏压对感应耦合等离子体动力学行为影响的研究
大体积等离子体电容耦合射频激励的极板自偏压溅射效应抑制及放电规律研究