基于MEMS微弹簧的集成探卡研究

利用现有MEMS微加工技术，探索制造工艺，设计制成探针数量多、间距小，布局和结构合理，性能稳定可靠的新型MEMS集成探卡。弄清探针和针头的材料对探卡性能的影响规律；揭示各种材料与铝之间(探针与焊垫之间)接触应力与熔结的对应关系；详细深入研究探卡的机械和电学性能，建立探针应力与位移之间的变化关系，建立不同探针材料时探针与焊垫之间的接触应力和接触电阻的关系。本项目的研究对集成电路测试和MEMS加工技术的发展具有重要的意义。