多离子束反应共溅射制备掺镧钛酸铋铁电薄膜研究

利用多离子束反应共溅射装置制备掺镧钛酸铋铁电薄膜、深入研究多个离子束同时溅射镧、钛、铋金属靶的反应机理与成膜机制，在多种衬底上制备出性能优良的掺镧钛酸铋铁电薄膜，研究掺杂离子在钛酸铋晶格中的占位机制，研究掺杂离子在钛酸铋晶格中的浓度分布与其物理性能的关系，这对发展我国的等离子体物理学、离子束溅射技术、薄膜科学等均具重要意义。