多离子束溅射制备铁电集成功能薄膜

完成五个方面的研究：（1）对我国七·五期间重点投资的十条柔性制造系统（FMS）或柔性制造单元（FMS）等的调研和分析工作，涉及研制、生产、运行、管理等多方面问题，以及更多家涉及CIMS、MIS、MRPⅡ等问题，发现投入高、可靠性差、效益低的严重现状；（2）首次研究建立FMS的评价指标体系；（3）结合某一具体对象进行企业管理分析；（4）制造资源计划（MRPⅡ）的研究工作与实践。并形成专箸；（5）创造性地研究有关作业调度与计划安排的人工神经网络及其实现的探索。