压电型直线电机驱动的二自由度纳米定位平台及定位技术
基本信息
批准号：50575103
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：黄卫清
学科分类：
依托单位：南京航空航天大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：朱华,金家楣,曾劲松,任子平,熊明理,韩庆庆,顾爱文,蔡铖尧
关键词：
压电驱动真空磁场高精度纳米定位
结项摘要
针对我国半导体制造、生物医学工程、微制造工程等领域对非常环境(高真空度和高电磁兼容性)条件下纳米定位技术的迫切需求，本项目研究一种压电型直线电机驱动的二自度纳米定位平台及其定位技术：首先研究层叠堆式压电陶瓷堆的变形和激励特性，并应用于多模态复合振子；研究多模态复合振子的驱动机理、动力学模型和结构优化设计方法；研究压电振子在行波超声电机和尺蠖式压电电机两种工作模式下所能达到的定位精度及该定位精度在两
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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