具有兼容测头的微电子掩膜板标准测量系统
基本信息
批准号：50027002
项目类别：专项基金项目
资助金额：70.00
负责人：徐毅
学科分类：
依托单位：中国计量科学研究院
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：殷纯永,高思田,聂钢,邵宏伟,叶孝佑,王春艳,毛世民,林德教,陈强华
关键词：
掩膜板计量标准兼容显微镜精密定位系统
结项摘要
以兼容扫描共焦显微镜、大围工作台、亚微米激光干涉仪组成的掩膜板测量系统，能满足微电子近期发展对几何参数测量值溯源和国际比对的要求。它集中了研制单位相关创新成果和基础工作。从而具有先进的精度和测量速度指标。不仅可作为国家标准，也可推广到工业部门。对微电子、微机械、超精密加工和精密机械及仪器的发展具有重要作用。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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