具有兼容测头的微电子掩膜板标准测量系统
基本信息
批准号：50027002
项目类别：专项基金项目
资助金额：70.00
负责人：徐毅
学科分类：
依托单位：中国计量科学研究院
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：殷纯永,高思田,聂钢,邵宏伟,叶孝佑,王春艳,毛世民,林德教,陈强华
关键词：
掩膜板计量标准兼容显微镜精密定位系统
结项摘要
以兼容扫描共焦显微镜、大围工作台、亚微米激光干涉仪组成的掩膜板测量系统，能满足微电子近期发展对几何参数测量值溯源和国际比对的要求。它集中了研制单位相关创新成果和基础工作。从而具有先进的精度和测量速度指标。不仅可作为国家标准，也可推广到工业部门。对微电子、微机械、超精密加工和精密机械及仪器的发展具有重要作用。.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于分形L系统的水稻根系建模方法研究
基于分形L系统的水稻根系建模方法研究
DOI：10.13836/j.jjau.2020047
发表时间：2020
2
拥堵路网交通流均衡分配模型
拥堵路网交通流均衡分配模型
DOI：10.11918/j.issn.0367-6234.201804030
发表时间：2019
3
卫生系统韧性研究概况及其展望
卫生系统韧性研究概况及其展望
DOI：10.16506/j.1009-6639.2018.11.016
发表时间：2018
4
面向云工作流安全的任务调度方法
面向云工作流安全的任务调度方法
DOI：10.7544/issn1000-1239.2018.20170425
发表时间：2018
5
天津市农民工职业性肌肉骨骼疾患的患病及影响因素分析
天津市农民工职业性肌肉骨骼疾患的患病及影响因素分析
DOI：
发表时间：2019
徐毅的其他基金
批准号：21406136
批准年份：2014
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31401671
批准年份：2014
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11304047
批准年份：2013
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11501100
批准年份：2015
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：59475085
批准年份：1994
资助金额：9.00
项目类别：面上项目
批准号：39670007
批准年份：1996
资助金额：14.00
项目类别：面上项目
批准号：39700176
批准年份：1997
资助金额：12.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11674130
批准年份：2016
资助金额：66.00
项目类别：面上项目
批准号：20402005
批准年份：2004
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：91750110
批准年份：2017
资助金额：78.00
项目类别：重大研究计划
相似国自然基金
1
基于单测头双剪切扫描的光学自由曲面在位测量方法
批准号：51575520
批准年份：2015
负责人：尹自强
学科分类：E0509
资助金额：64.00
项目类别：面上项目
2
非接触光学三维纳米测头测量机理及应用研究
批准号：51875163
批准年份：2018
负责人：黄强先
学科分类：E0511
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
3
微电子机械系统(MEMS)中的力学量的细微测量
批准号：19672062
批准年份：1996
负责人：王琪民
学科分类：A0812
资助金额：10.00
项目类别：面上项目
4
多孔硅电致发光的改进及与微电子技术兼容性研究
批准号：29873004
批准年份：1998
负责人：蔡生民
学科分类：B0205
资助金额：11.00
项目类别：面上项目