多孔硅电致发光的改进及与微电子技术兼容性研究

基本信息
批准号:29873004
项目类别:面上项目
资助金额:11.00
负责人:蔡生民
学科分类:
依托单位:北京大学
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:李经建,郁晓路,郝彦忠,余,姜江,孙鲁
关键词:
多孔硅电致发光集成
结项摘要

寻求能与现有微电子技术兼容的多孔硅的化学处理方法,用原子力显微镜和显微Raman表征其微结构的变化,用于指导发光效率高稳定性好的多孔硅电致发光器件原型的研究N匝槎嗫坠栌胛⒌缱拥缏返牡テ勺龊眉际踝急浮H缪芯坑型黄撇⑸唐坊匀韫獾缱蛹杉际醯姆⒄蛊鸬讲豢晒懒康耐贫饔谩

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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