离子束控制非晶基体上构筑晶型薄层的研究
基本信息
批准号：19875073
项目类别：面上项目
资助金额：14.00
负责人：俞跃辉
学科分类：
依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：任琮欣,周祖尧,牟海川,江炳尧,雷永明,陈志颖
关键词：
离子束控制晶型薄层非晶基体
结项摘要
着重抓住有重要学术价值和极大应用前景的离子束对在非晶基体上构筑晶型薄层的特殊作用,以离子束对YSZ膜和AIN膜的c轴和平面双轴取向的控制为研究切入点，应用显微扫描探针、X射线衍射、极图分析和Φ扫描、高分辨剖面电子显微镜和光学表征等先进技术,揭示离子束对YSZ膜和AIN膜的c轴和平面排列取向控制作用,对其物理机制进行探讨,提出相应解决模型.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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