纳米工艺下集成电路自动布线算法研究

随着集成电路工艺进入纳米阶段，集成电路设计和制造遇到了成品率降低的巨大挑战。本课题重点研究和探讨纳米工艺下集成电路设计中的复杂物理效应问题，研究面向制造的自动布线算法，内容有： 1、研究考虑参数变化的互连线的计算与建模，包括考虑工艺影响的线宽度和高度变化、考虑工作参数变化，如工作电压和温度变化影响的时延计算模型。 2、研究面向可制造性设计的总体布线、布线资源分配和详细布线算法，包括在布线过程中考虑关键区域CA的详细布线算法、考虑冗余通孔RV添加的总体布线和详细布线算法、考虑光学邻近效应OPE的详细布线算法、考虑化学机械抛光CMP的布线算法和布线资源分配算法。3、研究成品率驱动的互连线优化方法，考虑工艺制造及纳米物理效应对互连线时延和信号完整性的影响。课题目标是在布线过程中考虑工艺及制造的影响，提高纳米工艺下集成电路设计的可制造性和成品率。

随着集成电路工艺进入纳米阶段，集成电路设计和制造遇到了成品率降低的巨大挑战。本课题重点研究和探讨了纳米工艺下集成电路设计中的复杂物理效应问题，课题围绕纳米工艺下的可制造性驱动DEM和成品率驱动DFY的布线问题开展了研究，提出和建立了纳米工艺下物理效应的相关模型和参数计算方法；在此基础上提出了一系列可制造性和成品率驱动的布线算法和互连优化算法，包括：提出了基于OPE模型的SAT布线方法，提出了基于线网分类模型的模拟电路屏蔽线布线算法，提出了精确匹配模型的多层布线算法，提出了考虑串扰的可布性驱动的轨道分配算法，提出了供电网络的静态、瞬态噪声分析方法，等等。本课题在以上算法研究的基础上，完成了软件原型的开发并通过实例测试。通过对DEM/DFY方法在物理实现层次上的算法研究，为纳米工艺下的成品率驱动集成电路物理设计提供了理论、研究方法和算法原型，进而为成品率驱动的集成电路设计EDA软件开发打下了理论和算法基础。