微电子机械微位移微振动测试技术研究
基本信息
批准号：50275115
项目类别：面上项目
资助金额：23.00
负责人：乐开端
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张文定,曹建安,周翔,唐经源,王松涛
关键词：
亚纳米位移测量微电子机械亚纳米振动测量
结项摘要
项目提出用多模激光外差干涉法实现亚纳米微位移、微振动测量。通过对多纳模激光外差干涉中的非线性误差进行分析提出了进行补偿校正的方案，通过对高精度相位检测电路的实施，从而实现亚纳米级的测量精度。其测理光学探针达到2微米，适用于MEMS研究中的位移测量、振动测量，为MEMS力学特性分析、结构特征研究等从测量手段。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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