双束激光辅助分子束原位沉积复合薄膜机理研究

提出采用双束激光辅助分子束原位沉积复合薄膜的新方法，利用高速气体侧吹由两束准分子激光同步照射两个不同的靶材所诱导出的并在空间反应混合的等离子体，在置于气流对面的基片上沉积出颗粒细密均匀且组份可连续调节的复合薄膜。既可用于目前惯性约束聚变中所需的金属掺杂混合薄膜靶的制备，还可用于其它功能材料薄膜的制备，具有重大科学意义。