金属离子束增强沉积多元薄膜机理研究

金属离子束和多元离子束增强沉积技术，在低温条件下在材料表面沉积纯金属、合金或有机材料薄膜，膜基结合力高、大于2000gf，膜层成分可通过离子束剂量、溅射沉积率和气体吸附率精确控制；膜层组织在一般条件下为纳米晶，在低温冷却或膜层化合物形成自由能较高条件下易形成非晶组织。本项目重点研究了金属离子束和多元离子束作用下的长程效应、界面反应和膜层合金化规律与性能，采用Monte-Carlo方法计算和控制工艺过程。本项目开发了（TiMe）M膜系、金属—MoS2固体润滑膜系、Fe-N基多元合金磁性膜系和纯银—Si封装技术，并在化工、宇航、电子领域获得初步应用，效果显著。