金属多层膜塑性变形机理研究

近年来纳米级多层膜材料以其独特的结构和优异的性能受到人们极大关注，各种不同人工结构和功能的多层膜材料不断被发明和发现，成为高新材料技术的发展方向。相关材料与器件，特别是众多柔性多层器件在使用过程中的服役行为成为其发展的关键科学问题。本项目拟采用高真空和超高真空下磁控溅射、电子束蒸发技术制备3~4种典型的金属多层膜，采用纳米压痕仪研究多层膜的力学性能，并结合FIB、透射电镜等分析压痕变形区的塑性变形（包括蠕变）特征，研究多层膜不同周期尺度区间的塑性变形机制；通过多层膜体系组元金属之间具有不同强度错配的选择、周期设计、制备工艺优化、热处理等控制多层膜材料的界面行为和层内组织结构研究多层膜材料塑性变形的局域化特征与服役行为，从而对多层膜的结构及其塑性变形行为（包括蠕变）有较深入的了解，为具有多层结构的各类材料的发展提供科学依据。