离子迁移率谱仪集成化方法研究
基本信息
批准号：60504032
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：6.00
负责人：高晓光
学科分类：
依托单位：中国科学院空天信息创新研究院
批准年份：2005
结题年份：2006
起止时间：2006-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李建平,张阳,贾建,郭会勇,何星星,陈雁
关键词：
离子迁移率谱仪微电机械系统瞬态电场
结项摘要
离子迁移率谱仪（IMS）工作于大气压下，选择性好，检测灵敏度高，是检测痕量爆炸物、毒品、生化战剂的有效工具，是各种安全保卫工作，尤其是奥运会等大型活动安全保卫工作中必需的仪器。利用微电机械系统（MEMS）技术和集成电路（IC）技术发展集成化IMS可以大大降低仪器的成本、体积及功耗，使这种高灵敏度、高选择性的仪器得到更加广泛的应用。由于传统IMS所使用的高压电源不易集成，本项目就集成化IMS的实际需
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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