离子迁移率谱仪集成化方法研究

基本信息
批准号:60504032
项目类别:青年科学基金项目
资助金额:6.00
负责人:高晓光
学科分类:
依托单位:中国科学院空天信息创新研究院
批准年份:2005
结题年份:2006
起止时间:2006-01-01 - 2006-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:李建平,张阳,贾建,郭会勇,何星星,陈雁
关键词:
离子迁移率谱仪微电机械系统瞬态电场
结项摘要

离子迁移率谱仪(IMS)工作于大气压下,选择性好,检测灵敏度高,是检测痕量爆炸物、毒品、生化战剂的有效工具,是各种安全保卫工作,尤其是奥运会等大型活动安全保卫工作中必需的仪器。利用微电机械系统(MEMS)技术和集成电路(IC)技术发展集成化IMS可以大大降低仪器的成本、体积及功耗,使这种高灵敏度、高选择性的仪器得到更加广泛的应用。由于传统IMS所使用的高压电源不易集成,本项目就集成化IMS的实际需

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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