高速宽带可调制铁电薄膜微波器件的研制

本项目旨在通过激光分子束外延方法优化钛酸锶钡薄膜在氧化镁等衬底上的生长工艺，并通过控制薄膜界面应力、改变钛酸锶钡组份和搀杂等方法，制备出具有高调制特性、低损耗的钛酸锶钡铁电薄膜；并在铁电薄膜上生长高温超导体YBCO和其它新型氧化物或贵金属薄膜,用光刻方法制备叉指共面电容，采用网络分析仪等系统研究其微波特性；最后根据实验参数，设计并制作在Kα频段使用的相移器、滤波器等可调铁电薄膜微波器件原型。由于传统的半导体、铁氧体和机械调制技术受到可用频率范围、体积、重量和价格等因素的制约，无法满足现代军事和航空航天，以及民用无线通讯发展的要求。而可调铁电薄膜微波器件具有调制频率范围宽、调制速度快、损耗小、体积小、重量轻、价格便宜等优点，用其制成的相位阵列天线等装置可以提高雷达反应速度，实现多目标实时跟踪和信息高速传送等，在军事和民用领域都有非常重要的应用前景。