基于表面波微驱动器驱动的二维微光学平台的研究

为满足经济建设和社会发展对低成本，低功耗，使用方便的纳米级精密位移驱动器需求，有必要采用微细加工技术研制新型微声表面波驱动系统驱动的微光学平台，它可对微光路调节等需要纳米级精密驱动的场合。人类不仅自身需要直接使用多种光学器件，而且，各种工具、仪器和设备也需要依靠各类微小光学器件包括二维微光学平台来提高其智能化和集成化。本项目旨在通过声表面波驱动新原理，新设计，微细加工工艺等研究，突破其中的关键技术，研制出原型声表面波微驱动器，验证其相关理论和关键技术，形成一个可精密控制，精密调节的微光学系统的平台。利用光学三维互连的优点，预计应用目标是各种纳米级位移精密测量，必将对微细加工技术，微光学，精密测量技术，自动控制及仪器仪表等学科产生重要的学术影响和广泛的应用前景。为我国具有自主知识产权的新一代微光学测量系统的研究开发奠定基础。为我国具有自主知识产权的新一代微光学系统的研究开发奠定基础。