基于键合技术的新型集成光学干涉仪的研究

为满足经济建设和社会发展对低成本，低功耗，使用方便的纳米级精密位移(位置)测量仪器需求，有必要采用集成光学技术研制新型集成光学干涉仪，它可对物体的形状，尺寸，位置等信息进行测定。本项目提出一种新原理构成集成单臂光学干涉仪，再把该光学干涉仪所涉及到的器件(如光源、光学器件、光电探测器等)集成在不同半导体基片上，然后把它们用微细加工中的键合技术联结起来的方法，研究发展在多块基板内集成不同的光学元件，形成一个三维微光学系统的三维集成光学技术。利用光学三维互连的优点，预计应用目标是各种位移精密测量，振动测量。它的研究必将对微细加工技术，微光学，精密测量技术，自动控制及仪器仪表等学科产生重要的学术影响和广泛的应用前景。为我国具有自主知识产权的新一代微光学测量系统的研究开发奠定基础。