压电陶瓷微驱动器件极化模型与驱动方法的研究

压电陶瓷微位移器件是精密定位及操作中的关键元件。针对压电陶瓷存在迟滞和非线性而难于精密控制的不足，从微观物理结构的角度以压电陶瓷的极化机理进行分析 ，结合电子、材料、统计数学等学科理论，建立精确的压电陶瓷极化物理模型、数学模型，研究基于电极化强度的能够减少迟滞和非线性的归一化控制模型、驱动和控制方法，改善压电陶瓷的性能。