永磁锁定的双稳态电热微驱动器预微继电器研究

MEMS继电器被认为机电继电器实现微型化和阵列化的主要技术途径之一，而构造高性能MEMS继电器的关键在于微驱动器设计。在各种微驱动机制中，电热微驱动器具有驱动电压低、输出力矩大、尺寸效应不太显著、体积功率密度高的优点，但是一般热驱动的功耗大且响应速度较慢。为了解决上述问题，本项目提出了一种永磁锁定的双联电热微驱动器设计，该设计仅利用双联电热机构的升温过程驱动，借助永磁锁定机构实现断电姿态保持，从设计原理上有望大幅度提升电热微驱动器在功耗和响应速度两个方面的特性。本项目将针对上述设计思想开展系统性基础研究，研究内容包括结构设计与优化、微加工工艺与集成制造技术、磁锁定机制与电热驱动高效复合原理、器件表征测试等，探索新设计思想的可行性，研制原型器件，全面评价新型微继电器的性能和潜力。一旦获得成功，不但意味着一种新型微驱动器的诞生，而且有利于促进我国继电器产业技术进步，提升国际竞争力。