微加速度传感器及其设计原理和加工技术研究
基本信息
结项摘要
对硅微机械加工技术的关键工艺：p-n结自停止腐蚀技术,p(--)自停止腐蚀技术、硅硅直接键合技术和硅玻璃静电键合技术进行了探索，并已熟练掌握了这些技术和建立了相应的工艺规范，为我国MEMS的研究打下了很好的基础，研制了硅一体化微加速度传感器、微机械谐振器及混合集成加速度传感器，经国际联机检索表明，硅一体化微机械谐振器未见有类似结构的报道，具有明显的特色与创新，率先在国内研制出了谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器，采用p(++)自停止腐蚀技术来制作双环式微机械陀螺和玻璃—p(++)硅—硅结构来制作伺服加速度传感器，不仅未见报道，而且还具有工艺简单易控，成本低等优点，为我国进一步开展这方面的研究提供了很好的基础。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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