系统研究表面活化剂B、P、Sb原子核表面应变对量子点生长的作用规律。通过选择性离子注入B、Ge等原子,以及采用选择性外延超薄Ge层加扩散处理,在Si衬底表面引入微观尺度上挠Ρ涞髦疲芯苛孔拥愠珊松びΡ浠啤Mü芷谛缘谋砻嬗Ρ涞髦平岷媳砻婊罨粒迪殖叽缇龋占溆行蚺帕械牧孔拥愕纳ぁM毖芯苛孔拥愕暮焱夤獾缌飨煊馄滋匦裕涔杌焱馓讲馄餮兄铺峁┛蒲б谰荨
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数据更新时间:2023-05-31
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