原子重排列键合技术,又称晶片直接键合技术是近年来发展的光电子集成新技术。由于它能够将晶格常数相异的异质材料方便地集成在一起,而不引入影响器件性能的位错缺陷。因此很快在光电子领域获得了很多的应用并不断地拓展新的应用领域。我们在国家自然科学基金支持下,研究工作从实际出发,在立足国内研究条件的建立的同时,充分利用国际合作关系使用国外先进实验条件,积极开展研究。内容包括该技术本射工艺的研究、键合界面特性及机理的研究、光电子器件和材料的应用研究,取得了许多重要的进展和成果。在此期间,共计在国内外重要学术刊物和学术会议上发表论文33篇。
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数据更新时间:2023-05-31
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