离子束增强沉积梯度功能材料形成及其性能研究
基本信息
批准号：59181005
项目类别：专项基金项目
资助金额：6.00
负责人：柳襄怀
学科分类：
依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份：1991
结题年份：1994
起止时间：1992-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：杨根庆,王曦,郑志宏,黄巍,陈竞,朱宏
关键词：
***
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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