为满足微/光电子封装高密度高性能的要求,热声倒装通过多金凸点形成芯片与外引线的电热通道,其导电、导热性能比回流倒装高10倍,并且工艺简单,低成本,绿色环保,已显示其独特的技术优势和前景。.本项目针对热声倒装"芯片/凸点、凸点/基板"二个连接界面的微观现状,探索新的"基板传能"和"基板植球"模式的热声倒装,解决倒装键合的第二次超声能作用引发"晶片/凸点"界面金属间化合物问题;查明二界面生成固溶体、金属间化合物等微结构的机制与条件,弄清传能链节改变条件下超声能在二界面传递、分配与转化及其原子扩散规律,揭示二界面性能提高的内在规律与协调控制;以实现二界面性能最优化和提高倒装效率为目标,进行新传能模式下多能场优化匹配实验,自主研发高效高性能的热声倒装键合工艺与技术。
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数据更新时间:2023-05-31
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