新型超硬膜β-C3N4的合成和性能研究
基本信息
批准号：19674009
项目类别：面上项目
资助金额：11.00
负责人：田中卓
学科分类：
依托单位：北京科技大学
批准年份：1996
结题年份：1999
起止时间：1997-01-01 - 1999-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：常香荣,顾有松,潘礼庆,王振军,赵敏学
关键词：
离子注入βC3N4超硬膜ECR
结项摘要
C_3N_4是理论预期的超硬膜，可能比金刚石还硬。用离子注入和微波等离子体气相沉积合成了C_3N_4膜，其形貌为棒状晶态C_3N_4的堆积。用Se-risⅡ分别计算了α-C_3N_4和β-C_3N_4的X射线谱和强度，和实验谱校对，证明用MPCVD沉积在Si,Pt衬底上的膜是α-和β-C_3N_4的混合物。用EDX测得膜的总N/C比在1.0-2.0之间。用XPS测定、并用负电性准则甄别，确定C/S，N/S的结合能分别为286.2eV和399.5eV.在α-和β-C_3N_4中的N/C比符合C_3N_4和化合比1.33.Ra-man谱和红外吸收都支持在α-和β-C_3N_4中形成了C-N键。体积弹性模量达到349Gpa。中科院真空物理实验室学委认为取得的成果是重大突破。有重要科学意义和应用前景，如器件的表面防护，晶体发蓝光，做导弹热沉等等。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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