尘埃粒子与低气压等离子体鞘层相互作用研究

用理论研究、计算机模拟与实验论断相结合的方法，研究尘埃粒子在低气压等离子体鞘层内生长、充电过程及电荷涨落机制，研究尘埃粒子对电子、离子在鞘层中输运及鞘层结构的影响，研究尘埃粒子在鞘层中受力情况及输运特性，研究尘埃粒子层随时间演化。确定尘埃等离子体鞘层的基本物理过程，建立合理的物理模型，为低气压等离子体加工提供理论基础。