大气压放电冷等离子体炬及其沉积多晶硅薄膜研究

大气压冷等离子体炬是一种新的放电模式，它采用同轴电极结构，加低频或射频电压，产生非平衡等离子体射流，等离子体炬列阵能产生大面积等离子体。太阳能作为可再生的洁净能源，引起人们的高度重视，而多晶硅薄膜太阳能电池是近几年来太阳能电池研究的热点之一。由大气压冷等离子体炬制备多晶硅薄膜，在薄膜太阳能电池研究领域有重要的应用前景。本项目通过理论分析、计算机模拟、实验诊断及对所制备的多晶硅薄膜的测试，揭示大气压非平衡等离子体炬及其制备多晶硅薄膜的基本物理与化学反应过程；探索由大气压非平衡等离子体炬，采用氦气、氢气、四氯化硅为放电和反应气体，高效、低成本沉积多晶硅薄膜的方法和优化方案。制备出可用于太阳能电池的多晶硅薄膜。