微/纳机械器件的辐射损伤及其机理研究

基本信息
批准号:60476033
项目类别:面上项目
资助金额:27.00
负责人:金仲和
学科分类:
依托单位:浙江大学
批准年份:2004
结题年份:2007
起止时间:2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:王跃林,丁纯,徐怡斌,骆温明,王慧泉,应迪清,陈渝
关键词:
微机械器件材料特性纳机械器件抗辐射
结项摘要

本项目将致力于射线辐照对MEMS和NEMS器件的损伤的研究。以微/纳谐振器为研究对象,研究射线辐照下器件电性能、力电藕荷、机械性能等的改变,以及性能改变与器件尺度之间的关系,并研究产生这些改变的原因,以理解损伤机理,为今后采取适当措施提高器件抗辐射能力提供理论依据。通过研究可以揭示出MEMS/NEMS器件抗辐射特性与电子器件的异同点,从而更深入地理解辐射对材料特性,特别是机械特性的影响。另外通过对辐射损伤机理的理解,以及一定的对比实验,为今后研究MEMS和NEMS器件的抗辐射特性研究提供便利的实验方法。通过项目研究,可以切实推进MEMS和NEMS器件进入航天领域的步伐。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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