本项目将致力于射线辐照对MEMS和NEMS器件的损伤的研究。以微/纳谐振器为研究对象,研究射线辐照下器件电性能、力电藕荷、机械性能等的改变,以及性能改变与器件尺度之间的关系,并研究产生这些改变的原因,以理解损伤机理,为今后采取适当措施提高器件抗辐射能力提供理论依据。通过研究可以揭示出MEMS/NEMS器件抗辐射特性与电子器件的异同点,从而更深入地理解辐射对材料特性,特别是机械特性的影响。另外通过对辐射损伤机理的理解,以及一定的对比实验,为今后研究MEMS和NEMS器件的抗辐射特性研究提供便利的实验方法。通过项目研究,可以切实推进MEMS和NEMS器件进入航天领域的步伐。
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
机电控制无级变速器执行机构动态响应特性仿真研究
单狭缝节流径向静压气体轴承的静态特性研究
近红外光响应液晶弹性体
多孔夹芯层组合方式对夹层板隔声特性影响研究
沥青炭填充提高SnO_2/还原氧化石墨烯负极材料Coulomb效率及储钠性能
基于射频单电子晶体管的微纳机械器件研究
激光微纳制备磁控微纳机械中的若干关键问题研究
微纳光子操控与功能器件
微纳粉末颗粒激光组装微烧结功能器件的研究