基于射频单电子晶体管的微纳机械器件研究

本项目拟利用射频单电子晶体管的量子效应所带来的超高灵敏度特性，开展基于射频单电子晶体管的微纳机械器件的研究工作，制备出SOI衬底上单片集成的射频单电子晶体管和微纳机械器件元件（主要是梁元件）。主要研究内容包括：RF－SET及其检测电路的性能模拟和优化设计、基于SOI衬底工艺的MEMS/NEMS梁结构的优化设计、RF－SET和MEMS/NEMS元件的单片集成制备工艺研究、低温环境下MEMS/NEMS元件的超高灵敏度检测和分析，并探索进一步集成MEMS电感的可能性。本项目的工作属于纳米电子器件和微纳机械器件的交叉领域，国际上在这方面的研究刚刚起步，国内还未见报道。本项目的研究将取得RF－SET和MEMS/NEMS元件单片集成制备、低温环境测试等一批关键技术成果，为RF－SET应用于各类高灵敏度传感器奠定坚实的基础，形成我国自己的知识产权。