多离子束反应协同溅射机制的实验研究与理论分析

铁电薄膜制备与应用是近年国际上材料科学技术研究的前沿课题。本项目紧密结合本组提出的多离子束反应协同溅射思想和发展的相关技术，开展了系列实验研究和理论分析，包括：提出并建立了多离子束反应共溅射的数学物理模型，结合实验参数进行了数值模拟，得出与实验结果吻合的、带规律性的结果；分别针对单组元（Ti-O；Pb-O）反应溅射和双组元（Pb-Ti-O）反应协同溅射，研究了离子束反应溅射中膜的成核、生长及弧光效应等，在此基础上提出了发展多离子束反应协同溅射的具体方案；制备了多层异质结薄膜等。研究成果在国内外著名刊物上发表论文10余篇，成果鉴定认为水平达国际先进，部份居国际领先，获省部级科技进步一等奖。出色地完成了研究计划。