在线式MEMS微波功率传感器设计理论与实现方法的研究

项目研究内容和意义简介（限400字）：微波功率的测量和监测在民用和军用微波通讯领域有广泛应用，利用MEMS技术实现微波功率传感器的单片系统集成化和在线检测有重要的意义。本项目创新性地提出了MEMS 在线式微波功率传感器的结构性方案，该方案的特点是设计了类似MEMS微波电容式开关的功率耦合器在线提取微波功率，和MEMS热电型终端微波功率传感器完成热电转换，并有监测和非监测两种工作方式，提高了在线检测微波功率能力。本项目的核心研究内容是建立一套完整的在线式MEMS微波功率传感器的设计理论和实现方法，包括：（1）功率耦合器和终端传感器的微波匹配、电热转换和热电转换设计理论的研究；（2）应用所取得的研究成果，指导在线式微波功率传感器的设计，经GaAs MMIC工艺试制芯片，并封装测试；（3）试验结果验证基于MEMS理论和技术的微波功率传感器设计理论和实现方法的有效性。