新颖脉冲式气溶胶等离子体MOCVD制备功能陶瓷薄膜
基本信息
批准号：20271047
项目类别：面上项目
资助金额：22.00
负责人：孟广耀
学科分类：
依托单位：中国科学技术大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：程继贵,董强,宋海政,李海滨,郎莹
关键词：
功能陶瓷薄膜燃料电池新颖化学气相淀积
结项摘要
发展新颖脉冲式气溶胶等离子体MOCVD技术，制备多组分复合功能陶瓷膜。研究混合源化学反应、气溶胶输运、多层与梯度膜在位生长、膜层的组成与微结构控制、表面与界面反应。阐明新颖CVD过程热力学、动力学和薄膜生长习性的理论模型。针对SOFC关键关键材料的薄膜化制备对系统进行参数优化和综合评价，为高性能SOFC的发展打下工学基础。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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