对Cu、Ni、MgO、Al2O3和TiO2的原子间经验势函数进行了核查、验证和修改。在此基础上对Cu/Ni、Cu/Mgo、Ni/Al2O3、Ni/Mgo和Cu/TiO2进行了界面分子动力学理论计算,除经验势外还用了第一原理直接得到某些势函数。所用计算软件是在最新国际软件上自行修改后得到的非商业软件。根据界面的原子平衡组态计算了界面对X射线衍射的贡献,得到了相应的多层膜的全谱X射线理论图案。还计算了界面弹性模量和在拉力、切变力及弯曲力作用下的应力/应变曲线。用射频磁控溅射技术制备了Cu/TiO2和Ti/TiN两组多层膜试样,单层厚度从5纳米到50纳米各种组合。得到了它们的全谱X射线衍射图案,并与以上所得理论图案作了对比,吻合得很好。
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数据更新时间:2023-05-31
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