基于一种新思路的声表面波传感器研究

针对声表面波的力敏、气敏机理进行了深入研究，采用理论与实验相结合的研究方法，从理论上建立起了声表面波器件谐振参数对外界物理及化学量参数的敏感理论，提出了研究声表面波力、温度传感器需要综合考虑的六项指标并解决了六项指标计算的关键问题，为声表面波传感器的研制乃至声表面波器件的设计提供了一个十分必要的理论工具。在此基础上，研制出了声表面波谐振式力、温度、加速度传感器。针对谐振式的气体传感器，建立了新的耦合模理论模型，研制出基于声表面波谐振器的气体传感器及传感器阵列。初步开始了无源无线声表面波传感器的研究，研制了两种型式的声表面波无线传感系统并结合时间延迟型及谐振器型声表面波传感器的遥测技术进行了研究。